��ࡱ�>�� ������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������'` �R�z�bjbj��8�r�r��W@�������ZZZZZZZn�!�!�!8�!�!Tn\in^"^"t"t"t"O#O#O#�h�h�h�h�h�h�h�jh2mJ�h-Z+2O#O#+2+2�hZZt"t"�i�h�h�h+2�*Zt"Zt"�h�h+2�h�h�hZZ�ht"R" �� �r��!�\� �h�h,i0\i�h|m�fT|m�h|mZ�hXO#D�%��h1'L}(� O#O#O#�h�h7hXO#O#O#\i+2+2+2+2nnnD�!nnn�!nnnZZZZZZ���� *Y3���IQO�b/g�� 1�*Y3����i�Q *Y3���/fT�y�S�Qu���n-Ng͑���v�W,g���n �uir(���0Θ��0wm m��04l��I{��eg�*Y3��� �^IN0W� �*Y3���S+T�N NT�y�S�Qu���n0*Y3���\O:N�S�Qu���n�vN�y �R/fc*Y3����v�v�cl�S�T)R(u0�Ǐl�bcňn�b*Y3���\��l�bcb�p��)R(u�v^\�N*Y3����p)R(u�b/g ��Q)R(u�p��ۏL��S5u�v�y:N*Y3����p�S5u �_N^\�NُN�b/g���W��Ǐl�bcňn�b*Y3���\��l�bcb5u��)R(u�v^\�N*Y3���IQ�S5u�b/g �IQ5ul�bcňn�8^/f)R(uJS�[SOhV�N�vIQOHe�^�StۏL�IQ5ul�bc�v ��Vdk�S�y*Y3���IQO�b/g0 �NASN�~50t^�N �*Y3���)R(u���W�Q�s�N$Ny�͑'Y�b/g�z4x�N/f1954t^��V�\�[���[x6R�Q6��v�[(u�WUSvfEx5u`l ��N/f1955t^�Nr�RTabor�c�Q ��b'`8T6eh�b��i�_�Tt��v^x6Rb�R ��b'`*Y3�8T6e�mB\0ُ$Ny��b/g�z4x:N*Y3���)R(uۏeQ�s�N�SU\�eg`Y�[�N�b/g�W@x0 70t^�N�Neg �t��N8^ĉ���n�O�~�v gP�'`�T�s�O�S�R�v�X�R �NLu N��Y�V�[�cw��N_�S)R(u*Y3����T�S�Qu���n�v�pno01973t^ ���V6R�[�N?e�^�~�v3�IQ�S5u��R �1980t^�Sck_\IQO�S5uReQlQqQ5u�RĉR �/}���beQ��8�NY�CQ01992t^ ���V?e�^��^�N�e�vIQO�S5u��R �6R�[�N�[O�v�SU\�vh0�e,g(W70t^�N6R�[�N 3�IQ��R �1993t^\ gIQ��R �������R �0 �s�X��R 0 3�IQ��R Tv^b �e3�IQ��R 0�_�VI{'kqQSO�V�[�SN�N�SU\-N�V�[_N�~�~6R�[�N�v�^�v�SU\��R090t^�N�NegT�T�V�S_�NN�|R gT�V���[�N�S�R�vؚ�\O�� ������T6R�[NLu*Y3���beuĉR0�VE�*Y3���lQ�~ ����z�VE�*Y3����WёI{ ��c�RhQt*Y3����T�S�Qu���n�v_�S)R(u0_�S)R(u*Y3����T�S�Qu���nb:N�VE�>yO�vN'Y;N���TqQ TL��R �b:NT�V6R�[�Sc�~�SU\beu�v͑���Q�[0 � mQ�N �Negb�V?e�^N�v�bxvz_�S*Y3����T�S�Qu���n�b/gReQ�V�[�y�b;esQ��R �'Y'Y�c�R�Nb�V*Y3����T�S�Qu���n�b/g�T�NN�v�SU\0 �NASYt^eg �*Y3���)R(u�b/g(Wxvz_�S0FUNSu�N0^:W_�b�eb������_�N����SU\ �b:NNLu�_�03z�[�SU\�v�etQ�NNKNN0 2�IQOHe�^ IQuOyrHe�^�{�y:NIQOHe�^ �cIQgqO NGWSJS�[SObJS�[SONё^\�~T�v N T�MOKN���Nu5uMO�]�v�sa�0 �Nuُ�y5uMO�]�v:gt g}Y�Q�y �;N���vN�y/f1u�N;�!cB\�vX[(W0�N N�NP-N�~:N�O�f0 �ps^a�` N�vP-N�~ P-N�~�vb_b� T(��~�S(uNWWJS�[SO�~�cBgb_bP:S�TN:S01u�NBg(��v�o;m��ϑ�E�_\ �(W�[)n NBg(��] NY��5u�yb�S;N�yP[NA-�T�e;N�yP[ND+0(WPN:S�NLub�Y�VX[(W}�AmP[�vSm�^�] �Ee|_dk��T�[�eibce0���`(W�~b_b�vN�w�� �(WN:S�v5uP[:NYP[ �(WP:S�v5uP[:N\P[ �O5uP[1uN:SAmeQP:S �5uP[Nzztz�vG��S���Su YT �ُ7h(W�Seg/fN:S�v�~b�D�я5uP[�S�_�_\ �iR N*g�~-N�T�v�e;N�yP[ND+b_bck�vzz��5uw�0 T7h �zztz1uP:Sibce0RN:ST �1u N��Џ�R�v�S;N�yP[NA-b_b��vzz��5uw�0(WP:SNN:SLub�$N�O�Nu N���y�R�v�yP[:S�_N�y�=\:S0zz��5uw�:S0;�!cB\ � ��N/f�Q�szz��5uvPB\ �b_b�Q5u:W��y�Q�^5u:W �dk5u:W�[$N:SYP[�vibce g�b6R\O(u � ��[\P[�vo�y g.^�R\O(u ��v0RibceAmI{�No�yAm�e��0Rs^a� �(WLub�$N�O�^�zw�3z�[�v�Q�^5u:W0 P-N�~��&^N�c�5u�R�]� (W�ps^a�ag�N N ��~:S g�~N�vEF�(W܏�y�~:S�v�MO �EC0EF0E�KN���vsQ�|N�~b_bMR�r`�v T0 �N��&^�V w �N�W0P�WJS�[SOUS�rX[(W�e �EFNNEFP gN�[�]e5uP[�v�x07xI{CQ } ��[1\b�N5uP[�WJS�[SO ��N&{�SN�Nh�0傊bُ$N�yJS�[SO�~T ��NLub��Ob_bN*NP �N�~0*Y3���5u`l�veY�Y1\(Wُ*N �~ N �P �N�~1\�PN5X�X �;��x@w5uP[�Tzztz�v�y�R0S_*Y3���5u`l�S0R3�IQgq\�e �5uP[�c�SIQ�� �TN�W:S�y�R �ON�W:S&^�5u � T�ezztzTP�W:S�y�R �OP�W:S&^ck5u0ُ7h �(WP �N�~$N�z�O�Nu�N5u�R�R �_N1\/f�8^@b�v5u�S0ُ�y�sa�1\/f Nb�@b�v IQuOSbHe�^ 0�Y�gُ�eR+R(WP�WB\�TN�WB\ q Nё^\�[�~ ��c��}� �RY5uO g5uAm�Ǐ ��Ydkb_b�vN*N*N5u`lCQ�N ��b�[�N2NT�0v^T�w�eg �1\���NuN�[�v5u�S�T5uAm ����Q�R�s06R �*Y3�5u`l�vJS�[SOPg�e�]�w�v gAS�Q�y ��Vdk*Y3�5u`l�v�y{|_N�_Y0�vMR ��b/ggb�q �v^wQ gFUN�Ne�Q'Yϑ�v�N'lS�xlSO ��[�hQt'`�v )n�[He�^ 0:NdkT�V�R�VFd1��[8^ĉ���n�v�OV� ��R��SU\�S�Qu���n0\O:Ngt�`�v�S�Qu���n �*Y3���wQ g �SKN N=\ �(uKN N�z �vyr�p � �)R(u*Y3����S5uwQ g�s�OI{O�p � �N N�_�Q�vQ�[hQ'`�0@b�N(W�S���V�[�_0R�Nؚ�^͑Ɖ �'k2mT��v�V�[��R(W����t^*Y3���IQ5ul�bc�v5u�R`S@b g;`5u�R�v1.5� ���V/T�R�N ~vNK\v� ��R0(W���n�w: ��s�X�O�b��e�v%N͑�vb�V �NOb,gؚHe�s0W)R(u*Y3���$\:N͑��0 *Y3���5u`l1\/f)R(uIQOHe�^\*Y3����v�cl�bc:N5u���vN�yňn08^ĉ*Y3�5u`l�{USňn�Y�V1@b:y0S_N�W�TP�W$N�y N T�W�S�vJS�[SOPg�e�c�T �1u�Nibce�To�y\O(u �(WLub�Yb_b1uP�WcTN�W�v�Q�^5u:W0S_IQgq(W*Y3�5u`l�vh�b�T ���ϑ'Y�N�y&^�[�^�vIQP[�O�o�S�Q5uP[�Tzztz�[ �ُ�N^�s^a��v\pe}�AmP[(W�Q5u:W�v\O(u NR�y_ �(W5u`l�v N N$N�g/}�y �ُ7h5u`l�O�S�N�~YLu�}��c�O5uAm0 �N,gN�~70t^�N-Ng_�Y�N0Wb�(u*Y3�5u`lFU�TS�Neg �vfSOEx1\\O:N�W,g�v5u`lPg�e`Snc@w�~�l0WMO � �N�S�Nnx�Oُ�y�r�Q(W�NT20t^-N NO�Su9h,g�vl��S0�NvfSOExPg�e6RY�v*Y3���5u`l;N��S�b�USvfEx*Y3�5u`l ��� �YvfEx*Y3���5u`l �^�vfEx*Y3���5u`l�T����vfSOEx5u`l0USvfEx5u`lwQ g5u`ll�bcHe�sؚ �3z�['`}Y �FO/fb,g��ؚ�^�vfEx*Y3�5u`lRwQ gu�NHe�sؚ �b,gNO�^ � �Nl�bcHe�s0He�sp��QNUSvfEx5u`l�vf N�Q�x8TBg�v\O(u0 gf[��c�Q�N�x8TBg!j�W �sS8TBg�v��s�S�cr^$N*Nek���`$ё^\Bg(��vʑ>e�ibce�Q�[�N8TBg)n�^�v NP��a$R�Q!j�W�c6R�N8TBg�vgsO)n�^0�S gf[��c�Q �(W�xibce�eEx�v�����5uAm�v�Nu/f8TBg:g6R�v�W,g�V }0 8^ĉݔ8TBg�]z�/f(W5u`l�v̀b���@�ݔ��T�~Ǐ�p�~b_b �_N�S T�eb_b5u�N�v̀:W0я�Qt^(W8TBg N�v�]\O��f ��[�[ؚHeUSvfEx*Y3�5u`l�SYvfEx*Y3�5u`l��O�NuN�[�v\O(u0 ��S/f�cؚYvfEx(�ϑ�v gHe�e�l0N�y�e�l/fǑ(u"l��S ���SExSO�Q�v�`c.�I{:w�0(WvfSOu�-N�S�^�RI{q_�T �b:w���Y�vExPg�e �"l��S�vHe�g��}Y0"l��S�SǑ(u�yP[�leQbI{�yP[SOYt0(WYvfEx*Y3�5u`lh�b�Ǒ(upECVD�l@� NNB\.lSEx�Q�S\�� �1u�NEx�pR��e�Nu"l�yP[ ��[YvfEx�S�Nu"l��S�vHe�g0 Jv,4�4�4�4�4�4JJbp����������� � ������"�N�P�R�T�V���ϻϫϫϫϙϗψ�|�|�|�|x|nidi`\x|h'6�hv h�q�o( h�@Io(jh�q�Uo(h�@Ih#k�jh#k�Uh5h[|CJQJ^JaJU"h5h�q�CJH*QJ^JaJo(h5h6CJQJ^JaJo('h5h�q�CJQJ^JaJmH o(sH h5h�q�CJQJ^JaJo(h[|h�q�QJ^Jo('h�q�h�q�CJ OJPJQJ^JaJ o("&� � � P���<��������������������������������� ��dhWD�`��gd5 ��dh`��gd5 ��dhWD�`��gd5gd[|$a$gd�q���x���0Jv��*@�  (���*z���*�������������������������� ��dh`��gd5 ��dhWD�`��gd5 ��dhWD�`��gd5��� ��%�(�)�*�,\.j/l/�/�/�13�6�7�788�;�<�=�������������������������� ��dh`��gd5 ��dhWD�`��gd5�= >6>�>�?b@A�BFC�DBE�F�F�FHHH�H J�J�J�LpN2O�Q�U������������������������� ��dh`��gd5 �hdhWD�`�hgd5 ��dhWD�`��gd5�U�V�VW�XYZTZ�[�[]],]6^6`�`b�p�q�r�s�s t"u����������������������� ��dhWDd`��gd5 �hdhWD�`�hgd5 ��dh`��gd5 ��dhWD�`��gd5? (WؚHe*Y3�5u`l N8^Ǒ(uh�b�'l��S�v�b/geg�cؚ*Y3�5u�N�vHe�s �яt^eg(WIQO�~�vvfSOExPg�e NO(u_N gf>f�vHe�g �$\vQǑ(u�p'lS�lHe�g�ff>f0O(uPECVD�l(W�fNO�v)n�^ NۏL�h�b�'lS �яt^eg_N��O(u �wQ gN�[�vHe�g0 YvfEx*Y3�5u�N�vh�b�1u�NX[(WY�yvfT � N�Y�100 �vfT�vUSvfEx��7h���~1uP����_0Rt�`�v�~b��~0�g ��V ��[vQh�b�ۏL�T�yYt�N���Q�S\�v\O(u_N:Nяgxvz�vh �vQ-NǑ(uYRxn�ۏL�h�b�;R�i ��[10cmX10cmb��yExGr�v�]�^�e���SM�0R30�y �wQ g�NN�[�v�[(u\o�R0 YT[Ex\O:NYvfEx*Y3�5u�N�v�Q�S\��wQ g�[(uaIN �vQ�Q�S\�v\O(u�]��N�S͑�Q�S\���v�k �@b�_YvfEx5u�N�vHe�s_N����0R1304�0b�VS�N gr�ё^\xvz;`b��S-N�yb�aIQSf[xvz@bqQ Tx6R�v(WNQpS7R�vYvfEx*Y3�5u`l NO(uYT[Ex_N�]��0R�cя�[(u�v�~�g0 1u�NYvfExPg�e6R\Ob,gNO�NUSvfExcZPg�e ��VdkYvfEx�~�N�kUSvfEx�~�NwQ g�f'Y�vM�NOb,g�v\o�R ��V ��cؚYvfEx5u`lHe�s�vxvz�]\O_N�S0RnfM�͑Ɖ0я10t^egYvfExؚHe5u�N�v�SU\�_�_ �vQ-N�k�� g�Nh�'`�v�]\O/fGeogia Tech�5u`l �UNSW5u`l �Kysera5u`lI{0 �1 �Geogia Tech�5u`l Geogia�]N'Yf[IQO-N�_O(u5u;��s0.65 �cm0�S�^280?m�vHEM��p�Nbc�l �YvfExGr6R\O5u`l �n+�S\:S�vb_b�T�x8TBg�~T �Ǒ(u�_��pǏ z6RYݔ̀:W �(uliftNoff�l6RYTi�Pd�AgMR5u�g �v^�R�SB\�Q�S\��01cm25u�N�vHe�sAM1.5 N��0R18�6�0 �2 �UNSw5u`l uNswIQO-N�_�vؚHeYvfEx5u`l�]z��W,g NNPER105u`l{|\�e �vQ;`ϑ�~`SJS�[SO�]Nu�NEx�e�v1�10 ��~:N1000^�1200(T�t^0ُ�yEx�e�v�~�^'Y�R�N(W6N0R7N ��Ne(W�gLX-N�R�N�q�� �6qT\�gLX�N�p:W-N�n NM�b�N�X��^�� N�Q�n�N �bN�[�v)n�^�h�^ �O�V�mLub��N�g��^�T N�y�R �b_bvf-�0�[T�Q�V�l-N gN�y�y:N�p�Nbc�l�HEM � �(W�gxy�^��eQlSO�Q�negb_b)n�^�h�^0Gm���l/f\�qST�vEx�m�N�Xxy-NPeQ�SN!jwQ-N�Q�V�Nb_bvf-� ����QEx-�HT�eb_ �Rb�vExGrN,�:\�[:N10cmXl0cm �s^GWvf�|:\�[�N�ks|0R�Ss|0 ��-��l-N���㉳Q�v;N���/f��1 ��vEx�[hV�vPg(�0�V:NEx�qSO�Q�Q�eObr�V0W�|D�(W�gxy�v�Q�X ��$N��v�����|pe N T �Ex�VS�eSO�y�X�R9� �OOEx-��Nuˆ�~b4x�x0dkY ��qSEx�QNN��N@b gPg�ew�Sf[�S�^ ��V ��gxy�[Ex�e�val�g�_{��c6R(W*Y3��~Ex@bAQ���vP��^�N�Q0�2 �vfSO�~�g0(u�te�p:WI{�e�l�c6RvfSO�~�g ��Nu��Q'Y\�S_�pe�ks| ��vwQ gUST'`�vvf�| �v^=\ϑ�Q\vfSO-N�v:w� �ُ7hMb g�S��6RbHe�s��ؚ�v5u`l0 яt^eg ���-��]z�;N��g'Y-��v�eT�SU\0�b/gHQۏ�vlQ�Su�N�v��-�Y(W55cmX55cm�-�͑150kJ�]�S ��vMR65cmX65cm�-�͑230kJ�v�eb_Ex-�_N�]�����Q ���-��e��(W3N43h��V �RGrMRExPg�e�v�[6e�s�S��0R83�8�0'Y�W��-��pYǑ(u-N���R�p ��N��^'Yb_Ex-��S�]NSĉ!j0Ndk T�e �Ex-�(�ϑ_N�_0Rf>f�v9eۏ ��~Ǐ�]z�OS�T�g�Pg(�9eۏ �O:w��SBg(�0'l0�x+Tϑ�Q\0(WvfSOu�-N�V�mLub��vb_�rOq_�Tvf�|�~�g�vGWS'`NPg�e�v5u'`�� �N,� �� �4ls^b_�r�v�V�mLub���}Y01u�NEx-�teSO(�ϑ�v�cؚ �OEx-��v�S)R(u�s�_0Rf>f�cؚ0 1u�N��-�-NǑ(uNOb,g�v�gxy�S1�!j�m�e ��[Ex-��vPg(��NO �bq_�T0яt^eg5u�x�l�EMC ���(uegۏL���-�Ջ�� ��e�l/f�b�pEx�e�N N�ޏ�~�R0R�q��ExY � ��q��ExN�e�^�v�Q�g�m�Ǐ5u�x�R�Oc�c� � T�e�VS�vEx��ޏ�~0WT N�b0�Q�X�m(u4l�Q�vܔ�megb_b0�vMR��]z��]���Q*bb�:N220mmX220mm�v�Ex-� ���-��vPg(��~�^�k8^ĉEx-�ؚ0u�N'`�v��-��p�]�� ��Q500kg�vEx-� �-��v*bb�:N350mmX350mm �2� 2m� ��VS�s:N1mm�min0�VS�S�QtS�e@b�Nu�v�p�^�R/fq_�TEx-�(�ϑ�v;N���Spe ��^ N�eOS�T9eۏ0��l��&Tck_ۏeQ�]NSu�N�N(W�[��ċ0O-N0 b�V(W80t^�NR1\_�Y�NYvfExPg�e�T*Y3�5u`lxvz �ۏL���-�Pg�exvz�v gS�N gr�ё^\xvz;`b�0 Nwm gr�ё^\xvz@b0 Y�e'Yf[�vQ-N Nwm gr�@bǑ(u�v/fGm���l �S�N gr�b��S Y�e'Yf[Ǒ(u�v/f�[T�Q�V�l �v^���Q�N15kg͑0220mmX220mmX140mm�vEx-�0�V�[ ]N�N ��R�[�c�N100kg�~Ex-��v_ۏ�mS�N�R0 �2 �YvfEx�~�g�SPg�e'`�� Ǒ(u���{:g�Va��N�S�[ExGr:w��S\P[�[}TI{�SpeۏL�b�kb�c �ُ�[‰�[YvfExPg�e'`��0�~�g�SۏL��|�~R�gwQ g�_'Y.^�R0���[yr g�v��-��]z�egR�g'l0�x+Tϑ�SvQ�[5u'`���vq_�T/f�cؚExGr(�ϑ�v͑��Kb�k0(Wkb�c5u\� N�REB1C�5uP[_ga�^5uAm�l ��R����N�[7h�TۏL�kb�c�[�N�vfSOEx5u`l�V:w�0vfLu0Bg(��v@\�q_�TASR gHe0 �3 �ExGr�R�]�b/g 8^ĉ�vExGrRrRǑ(u�QWRGr:g �vQR_c:N0�3N0� 35mm �OvfSOExRrR_c1Y��'Y �N'YExGr NfR�_�_��0я�Qt^ �Y�~RrR:g�vO(u�[vfSOExGr�vb,g NM�wQ gf>f\O(u0Y�~RrR:gǑ(u��N&^�R�xSEx�x�eegۏL�RrRExGr �R_c�S g0� 22mm �ExGr�SR��0R0� 2mm �NRrR�v_c$O\ ��S�Q\P����v�m�^0N,��S�Q\V4ExPg�e�v_c1Y0�vMRHQۏ�v'YlQ�S�W,g N��Ǒ(u勾�Y0N�S��Y�SRrR2N4MW�t^�vExGr0яgxvz�Q�S\85��v�xSEx�x�e�S�l�m�~Ǐ�y�_:gR�yT͑ YO(u�]z� ��SۏNekM�NOPg�e�m�0 2�2&^�rYvfEx6R ��b/g :N�N�Q\RGr_c1Y �(WǏ�S�QASt^̑_�SǏ�_Y�y6R �Gr�rExb&^Ex�v�b/g0(W80t^�N�VE� N�f�Q�sǏ�_Y�yu�Ex&^�v�e�l �FO'Y�R��Y�N�[���[6��k �vQ�S�V/f��1 �(Wؚ)nǏ z-N�Ǐ��Y_eQ�NǏYBg(� ��� N0R��Bl�v�~�^��2 �(W�Q�~vfǏ z-N��Bl�vؚ�QtS��sOOvfSO-N�NuǏY�v:w�0(Wu���^NEx&^(�ϑKN���[~bs^a� �vQM�NOb,g�v�b/g���^�kvf-�Exؚ0 N���N�~�Q�y�k��b�q�v&^Ex�b/g0 �1 �P����U���Edge deifined film growth �&^Ex�b/g 勀b/g�v�]z�Ǐ z�Y N�Ǒ(u�S_�v�w�X!jwQ�N�qEx-N�v�c�b�QckkQ҉ExR{ �ckkQ҉�v����k10cmeu� �;`�{�_�~30cm ��{�X�S�^�ExGr�S �N�w�X!jwQ�k�~b_�r0�b6R)n�^�T��^ gsQ ��~200N400tLm ��{��~5m0Ǒ(u�oIQRrR�l\Ex�{Rb10cmXl0cm�eb_ExGr05u`l�]z�-NǑ(u��4Y�leQ�l6RY5u`lh�~ �vQ�[�]z�N8^ĉ5u`l�]z��v T05u�NHe�s13�N15�0勀b/g�vMR^\�NASElQ�S@b g �FU�TSu�Nĉ!j/f4MW�t^ �ck��Rib�N0 �2 ��g����r&^Ex�b/g (Wu�Ex&^�e$Nag�g�vf�v�c�N�g��qEx-N��Q �1u�Nh�b� _�R�v\O(u �$Nag�gvf�v-N��O T�e��QNB\�Y���r�v��Gr �@b�N�y:N���rvf0R�S$N���v�gvf �(u-N���vGr�rvf6R\O*Y3�5u`l0���rvf(WT�yEx&^-N(�ϑg}Y �FOvQu���^�v�[��ba0 b�V(W70t^�NR1\�b6R�Q�eMO��v���rvf0(W80t^�N-NgS�N gr�ё^\xvzb�(W�V�[�6q�yf[�Wё/ec N_U\�N(u�xQ\O/ecir ��N*jT�b6REx&^�v�]\O �v^x6R�Q�N��Y�xvz�]\O(W80t^�N*g-Nbk �0b�V�S�]N'Yf[ۏL��N�nEx�el��l  sS(u5u�x�l�qSEx06qT\Ex�m�n0R�el�!jwQ N�Nb_bExGr�v�c"}'`xvz �v^��0R�NN�[�v4ls^0 �3 �De1aware'Yf[YvfGr�rEx6R ��b/g 勀b/g�W�N�m�vY�^�]z� �l��^:N�^�Nv��t0v��tl��^�S�N͑ YO(u0(W5u`l6R\O-NǑ(u�NAl�TPOC13 �8TBg�TNO)nPECVD-Si3N4 ���S�b/g �T��c�O�NSO��S�T�S\:S��S0lcm25u`lHe�s��0R15�6�0De1aware'Yf[�TAustropowerlQ�ST\O�Ǐ�N-NՋ�NNS�b/g0 �4 �\Ext*Y3�5u`l Ext�vs^GW�v�_:NL2mm ��~ g2N*N\tv�(W100cm2�vݔ�{ N�Nb_b*Y3�5u`l ��k*N\twQ gp/n�~ �ُHNY�v\t(Wݔ�{ Nb_bv^T��v�~�g �100cm2b��y�v5u`lHe�s�S��0R10�0�SR N�SO(u�Qё�~�v\Ext �N�eb�\Ext,g��_N�[fۏL��c�~0勹e�l(W�b/g NwQ gN�[�vyrr� �FO��M�NOb,g(W�b/g N�N g��Y�V��0勹e�l(W90t^�NR�SU\w�eg �FOя�Qt^vQxvzN�SU\w��N\P��r`0b�V Y�e'Yf[_N�f�[ُ�y*Y3�5u`l�]z�ۏL��N�c"}'`�[�� ��c�c�N�W,g�b/g�v���p0 2�3*Y3��~Ex ��V0�_�V0�e,g�v��Y�[lQ�S(W80t^�N*g\Pbk�N*Y3��~Ex�vxvz �;N��/f�V:N�b/gۏU\ba � T�e g'YϑNOb,gJS�[SO�]N!k�TEx�S�O)R(u0�SN�eb� �*Y3��~Exu�N�v�~Nmĉ!j�~:N1000(T�t^ �b,g�SM�0R 20�CQ�kg � ��vMRIQO�]N�kt^�v�Blϑ�S g400N500(T0S_IQO�]N�v(uϑ��0RN�[�v4ls^ � �JS�[SO�]N:NvQ�c�O N�NNO�N�v!k�TEx�e�e �*Y3��~ExMb��ۏL�ck_u�N0 N�y�vMR6R �*Y3��~Ex�v;N���e�l/fO(u�|�p�v�Qё�~Ex �Ǒ(u5uP[_g�R�pwzz�bd��l�Sd��xBg(� �6qT�Q�V ��QǑ(uI{�yP[SO'lS�l�Sd�|x�S�x ��Q�Q�V0Ǒ(u4l��l�mT�v�QI{�yP[SO�S\|x+TϑM�0R0�lppm�v4ls^ ��~Ǐ�Q�Q�VEx-N�vё^\Bg(�+Tϑ�SM�0Rppb�v4ls^0(udk*Y3��~Ex6Rb�v8^ĉ�]z�5u�N�vgؚHe�s�S��0R14� �ؚHe�]z�6R�v5u�N�vgؚHe�s�S��0R16�0dk*Y3��~Ex�]ۏeQ�kt^u�N60(T�v-NՋ6��k0 1u�N�~9�6R�~ �b�V*Y3��~Ex�vxvz�]\OP��N���{f�vSf[Nirt�c�~0Sf[�c�~/f\�~�^��ؚ�v�Qё�~Ex�99� ��R�]b�~���|T �O(u�vx�0�s4l0"llx�I{ۏL�x�mi��S �dkek�S\+T��ϑM�0R200ppmϑ�~ �6qT�QۏL��N!k�[T��V��egO(u�N!k�v�b � ��S\+T��ϑM�0R0�3ppmϑ�~ �FOvQ�~�^�Sb,gGW*g����0R��Bl0b�VwQ g�~�^ؚ�v�w�xD��n �v^ g'Yϑ�Qё�~Ex�Q�S �Ǒ(u�QёEx�|�p�v�e�lu�N*Y3��~ExwQ g�_'Y\o�R0 3vfEx5u`l�vFUNSu�N�T^:W�SU\ 3�1FUNS5u`l�b/g �1 �8^ĉFUNS5u`l�FUNSvfEx5u`l;N���~�g/fpWT�~0�~b�0̀:W�T�Q�S\�mB\��nfM�Ǒ(u ��~hё^\S�b/g(W N�e9eۏ �USvfExFUNS5u`lHe�s(W13N16�KN��0YvfEx5u`l�]z�NUSvfEx�W,g�v T �FO�l g�~b��b/g0FUNSYvfEx5u`lHe�s(W11N14�KN��0 �2 �;R�i�Wh5u�N�BPlQ�S)R(uUNsW�b/gu�N�v;R�i�Wh5u`l�]�~�[�sFUNS �ĉ!j:N2MW�t^ �5u`lHe�s15N17�KN�� �b,gN8^ĉ5u`l�W,g�v T0 �3 �AsEYvfExGr5u`lHe�s(W11N13�KN��0 3�2vfEx5u`l�v�NN�T^:W�SU\ �VE�IQO�]N(WǏ�S15t^�vs^GWt^�X��s:N20�090t^�NTg �NLu^:W�Q�s�N�O N�^Bl�v@\b� ��SU\�f�Rŏ�01997t^NLu*Y3�5u�NIQO�~�Nu�N��122MW ��k1996t^�X��N38� �/f4t^MR�v2 P �/f7t^MR3 P ��kƖb5u��]N�SU\�f�_ ����QIQON�[gPN‰�v0O��01998t^IQO�~�Nu�N��0R157�4MW ��k1998t^�X�29�0IQO�S5u/}��;`ň:g�[ϑ��0R800MW0 (W�NNS�eb� �T�VN�v(W�Ǐ9eۏ�]z�0ib'Yĉ!j�T_�b^:WI{�c�eM�NOb,g �v^�S�_�N�]'YۏU\0�N��V:N�Nh� �?e�^����n� �(W1990t^w��R�NPVMaT�IQO6R ��b/g ��v�NNS��R ��Ǐ�V�[�S�Qu���n�[���[�NREI��[�e �v^b�z�N�V�[PV-N�_ �T�T�NNLu0'Yf[�Txvz:g�gqQ TۏL�;esQ ��NBl'YE^�^M�NOb,g0ُN��R�v�[�e�]�~�Nu�N^�8^f>f�vHe�g �OFU�TS5u`lHe�s�cؚ0R�12N15�0u�Nĉ!j�NǏ�S�v1N5MW�t^�SU\0R5N20MW�t^ �v^ck(WT50MWib'Y ��Y��VBP So1arlQ�S��R2000t^��0R50MW�t^�vu�N���R0u�N�]z� N�e�{S �ꁨRS z�^ N�e�cؚ0 Nt^eg �NLu�vIQO�~�N�vu�Nb,gM�NO�N32��N N �,{N!kM�0R3�CQ�wp�N N ��VE�^:WIQO�~�N.U�N(W4�CQ�Wp�]�S0ُ�y���R؏(W�~�~�SU\ ���Km1999t^u�Nb,g�SM�0R1� 79�CQ�Wp �(W1994t^�v4ls^ NM�NO60�0��VPV�|�~5u�Nb,g�vh�2004t^IQO�|�~�[ňb,g3�CQ�Wp�11�R�kwh � �2010t^1�5�CQ�wp�6�R�kwh�N N �0 'k2m�T�e,g_N g{|f0W�~_g�N�[�vMRg_�b6��k �v^_�Y�N�[�v��R�SU\6��k01998t^7gckS_NLuё��qS:gg�u�r�v�eP �NLuPV^:W�k1997t^ Tg�X��N50�0NLuT'YlQ�S�~�~�[�e�T6R�[ib�N��R �1998t^RPVIR�~�� �ck(W�[�e�Tib�N�v�e�X���R:N 305MW�t^ ��k1997t^ؚ�Q2 P0�S�N� �*Y3���IQO�S5u�b/g�T�NNck(W~�ޘ ���Km�NT10t^IQO�~�N�vu�N\�N30��]�Su��fؚ�v��X��^�SU\ �2000t^\��0R300MW�t^ �2010t^��0R4�6GW�t^��O gϑ20GW �0�_��SU\�vK\v���R0T�y�Q MQz?eV{�Te�4�?eV{�N�S�nb�q�v�~r�5u�R�NyO�v�f�N���nǏ!n0��Km0R NN�~-N�S �*Y3���IQO�S5u\��0RNLu;`�S5uϑ15N20� �b:N�N{|�v�W@x���nKNN0,{�NJ\NLu*Y3���IQOO��;N-^Jurgen Schmidt(W'YO N�0R� \O:NhQtN�y���n �IQO�S5u(W NN�~MRJSg\��Ǐ8h5u �/f2030t^؏/f2050t^�vgT�Qt^��Ǐ ��S/f*N�e���0 b�V*Y3���IQO�S5u�b/g�NNS�S^:W�SU\�~Ǐя20t^�v�R�R ��]�~`Y�[o�}Y�v�W@x0�vMR g4*NUSvfEx5u`l�S�~�Nu�N�S�T2*N^�vfEx5u`lu�N�S0FO(W;`SO4ls^ Nb�V T�VY�v�k؏ g�_'Y�]ݍ �;N��h��s(W�N N�Q*N�eb�� �1 �u�Nĉ!j\0�vMR4*NUSvfEx5u`lu�N�S�W,g N�Oc(W1986N1990t^_ۏ�e�vĉ!j�T4ls^0T�S�[(W_ۏ�eh�yu�N���R:NIMW�t^ �FO(W N T�v�]z��s�� N��X[(W@w �t�� ��[E�u�N���R��(W0�5MW�t^�]�S �@b�Nb�V*Y3�5u`l;`�v�[E�u�N���R�~2MW�t^ � 1998t^b�V*Y3�5u�N�v�Nϑ:N2MW ��~`SNLu�Nϑ�v1�3�0u�N�vĉ!jS z�^�k�VY5N20MWu�Nĉ!jNON*Npeϑ�~0�vMRT�S��(W�R�Rib'Yu�N���R ��Sg(W1N2t^�Q\T�S�v�[E�u�N���Rib'Y0RIMW�t^ �;`���R��0R4MW�t^0YvfEx5u`l g)R�NۏNekM�NOb,g ��vMRb�V؏/fzz}v0�V�[�]\YvfEx5u�N�v�NNS\O:N ]N�N ��R�v͑�pۏL��N�[�c ��Sg(W2000t^b_bĉ!jSu�N0 �2 ��b/g4ls^��NO0b�V*Y3�5u�N�vHe�s��NO �s^GW(W11N13���~�N\ň4ls^NO ��] z�s:W��f ��R�N�T'Y�~3N5t^1\�Q�s�SĞ0w��l0 q�~1�=�0He�s NM�I{� �я�Qt^�N�T(�ϑ g�cؚ �FO T�VY�N gN�[ �]ݍ0 �3 �N(u�SPg�e�V�NS z�^ Nؚ0N(uPg�e�Y��Fm0\ň�s�t0EVAI{\*g�[hQ�[�s�V�NS0�V�[�f\�cؚFUNS5u`lHe�s�TPg�e�V�NSReQ kQ�N ��R �v^�S�_N�[b�g �FO'`�� g�_ۏNek9eۏ �T�S�[�RPg�e�N6qǑ(uۏ�S�T0 �4 �b,gؚ0�vMRb�V5u`l�~�Nb,g�~35CQ�wp�4�2�CQ�Wp � �s^GW.U�N44CQ�Wp�5�3�CQ�Wp) �b,g�T.U�N��ؚ�N�VY�N�T0 b�V0W�W^'Y0�N�SOY �7000N�Nu;m(W�e5u0W:S �IQO�S5u�v\o(W^:W^�8^�]'Y0FO1u�NIQO�S5ub,gؚ ��vMR\ N��N8^ĉ�S5u�v�k0=\�{�Ydk �b�V�vIQO^:W�N(W�t^0W�SU\�Tib'Y �1998t^�v�[ň�[ϑ�~2�5MW00R1998t^�^ �IQO�S5u�|�~;`�O gϑ�~12MW0 (WIQO^:W�SU\�eb� ��VYT'YlQ�S�TNLu��L��[�N_�b-N�V�vIQO^:W��h��s�Q�g'Y�vtQ���T�p�_ �v^_�Y�N��L��R0ُ�[b�VIQO�NN�v�SU\�e�uw�@w�g'Y�v�c�R�T�PS\O(u0�O�Y �NLu��L��ǏGEF�hQt�s�X�Wё �y��vT-N�Vo�7�>k(u�NΘ���TIQO�S5u�v^:W_�b �vQ-NS�b10MW�v7b(uIQO�S5u�|�~0�y��v(W�V�[�~8��Y�~�~ Nck(WgbL�-N0w�pQ?e�^Tb�V�e�uꁻl:S`��я10NWY7b(uIQO5u�n�|�~ ��NyOASR͑Ɖ0�VE����n�~�~�IEA � � 1991�T1997�v�~$N!kw��R�^Q{IQOƖb��R ����_�_'Yb�R ��^Q{IQOƖb g��YO�p�`$wQ gؚ�b/g0�eal�TꁛO5u�vyr�p ���Y:_S�^Q{ir�v�a�T�^Q{(�ϑ�a$IQO��N/f�^Q{ir;`�gb�vN�R �d��N�S5u�R��Y �؏/f�^Q{ir�P�vY萙��v �wQ gY�R���T�Sc�~�SU\�vyr�_�b$R^�W�v*Y3���\�TR^�W�v�^Q{ir�N�v9SM��c$�^Q{ir�vY�X��:NIQO�|�~�c�O��Y�vb��y�d$ N�����Y�vf5�`S0Wb��y �w�S�NIQO�|�~�v/e�d�~�g �w�S�N��5u9�(u�b$PV5�R�S�N�N�f8^ĉ�^Q{Pg�e ��N ���w�[ň�TPg�e9�(u ��O�Yf5��vY�XS��ň�Ob,g g�S��I{�NIQO�~�N�vb,g ��Y�g�[ňIQO�|�~��Ɩb0R�^Q{�e�]Ǐ z ��[ňb,g�S�S'Y'YM�NO�`$(W(u5u0W�p�S5u ��MQ O���TR5u_c1Y�5N10� � �M�NO�N5u�R O���T5u�RRM��v�bD��T�~�Ob,g ��^Q{IQOƖb�|�~�e�(u�NE\lOO�[ �_N�(uFUN0�]N�TlQqQ�^Q{ �ؚ�lQ�󗜖I{ ��e�SƖb0RK\v� �_N�SƖb0RY�X N��e�SƖb0R�e�����v�^Q{ N �_N�SƖb0R�s g�v�^Q{ N0IQO�^Q{Ɩbяt^eg�SU\�_�p ���Y�V�[�v�~6R�[�N,g�V�vIQOK\v���R0�^Q{ꁫ����`SNLu;`����v1�3 �/f*geg*Y3���IQO�S5u�vg'Y^:W0IQO�|�~�T�^Q{�~T\9h,g9e�S*Y3���IQO�S5u(WNLu���n-N�v�N^\0WMO �MRofIQf0 4�2 PV�NNT~vFQ�t�~ĉ!j�T�fؚ�b/g4ls^�SU\ �vMRPV�~�N�vu�Nĉ!j(W5N20Mw�t^ � NN�~\T~vFQ�t�~u��f'Yĉ!j�SU\0 T�eꁨRS z�^0�b/g4ls^_N\'Y'Y�cؚ �5u`lHe�s\1u�s(W�v4ls^�USvfEx13�N15� �YvfEx11�N13� �T�fؚ4ls^�USvfEx18�N20� �YvfEx16�N18� ��SU\ � T�e����5u`l(W N�exvz_�S �ُ�N��:N'YE^�^M�NOIQO�S5u b,g�c�O�N�b/g�W@x0 4�3 NN�~MRJSgIQO�S5u\��Ǐ8h5u N�[���� � NN�~MRJSg�v30N50t^�N �IQO�S5u\��Ǐ8h5u01997t^NLu�S5u;`ň:g�[ϑ�~2000GW �vQ-N8h5u�~400GW ��~`S20� �NLu8h5u�vMR/f6e)b�~c � �b�VJ\�e8h��\�SU\0R�~100GW �ُ1\asT@wNLuIQO�S5uJ\�e\��0R500GW�]�S01998t^NLuIQO�S5u/}��;`ň:g�[ϑ800MW ��N2040t^���{ �ُ��BlIQO�S5ut^�X��s��16�5� �ُ/fN*N�_�[E��v�SU\��^ �MR�c/fIQO�|�~�[ňb,g�\���T8h���v�k0 4�4 PV�S5ub,g NM����R ��V���n�1996t^sQ�NPVT�Q�|�~^:W�N�N����4�¤Ĥ����������ئF�ޫ<�:������������������������������ ��dh`��gd5 ��dhWD�`��gd5��v������������F�ں�������������"���������������������������������������� ��dh`��gd5 ��dhWD�`��gd5����� �����P�R�T�V�l�n�p�r�t�v�x�z��������������������� ��dhWD�`��gd5$a$gd�q�$a$gd�q�V�X�d�f�h�j�l�n�p�r�t�x�z�������������h5h[|CJQJ^JaJh#k�h�@Ih�ARh�q�h�q�o(h�@I0JmHnHu h�q�0Jjh�q�0JU 61�82P:p[|��. ��A!��"��#��$��%��S�� ���5DdL$���F� � C �"A� �biao��R�`5��C L?J��Dv���H6�<5D�F�45��C L?J��Dv���H6�����JFIFHH�� 4ExifMM*bj(1r2��i��HHAdobe Photoshop 7.02011:03:07 14:03:29����7�5(&HH����JFIFHH�� Adobe_CM��Adobed����            ��57"����?   3!1AQa"q�2���B#$R�b34r��C%�S���cs5���&D�TdE£t6�U�e���u��F'���������������Vfv��������7GWgw��������5!1AQaq"2����B#�R��3$b�r��CScs4�%���&5��D�T�dEU6te����u��F���������������Vfv��������'7GWgw������� ?�U�}f�߅�Zq�Nk��ϵ��u�����g뇤`@�3r]�bUK��m�B��V��6 �w����A�vE�t84��kw{]o�'��� Pd� �<8�4��2�Va���3�8���0u_mw ��k�Ş�l 6���4�ߤ�sϔ� �8�~���Z�N,d���^�>g�����lm}T���h'�.�����g�)jPB��Y:o�<7T�dmۑ��t:9��IS�\<�~�uZ�FK��Va�'\�&���G��g�%�,$�Dǃ450����?��WŎ[K����$�������q(����'>ѻ�����������)ȥ�^�eVױ�4�Ϫ��� ���e�fCω��p���k����Clu����)z��M����(5����j���J�VSZ�mm���s��Q�8������WQ�#�/�5B���)�/�j���뭎��Y�13�cC��d5�A`�ή�W������1�85����es?��d���.y/�N~/I��El긘�2���&�F���]��#�Oԋ�2�߶c9έ��]H���=�j����,��y�6X�� ��ue���M��%k��7��{�.}�4�H n�Q�q�1�Œ���X��_�1�A<3���zI�Ӻ��Sn�-teэp{�-����k�bK���y?V��c���w�������IS��~��W�����^� ?�~��~� _��K����v�Ӎ]�{�`�Ʊ����k���R.~exW�� ��c�s[� ��}���u ��s[�vZk�E�{]��J���O�`��gN�y�<� a��5ߙ�=J��{U��b�drD�8�����L��#H��?�r�?Rʻ�Q�89�����/�:61����wV��õ�ec��V� �J}����+��t<���S�-ՕUc�y��\�i�c�\�Ag��o��S��،�j0�x�?G��,u�U`�2߇�/�^{��Y�3�N͢���S~��W�Z��H� du?C�u ���z+]��s��r3�;�h�.�ۥ��+Y��?���~���������y���w� ��s\�V6�Ļv ۴l���#�|���������)\?�>�la�\?�|���?U$�UIWf���� �Photoshop 3.08BIM%8BIM�HNHN8BIM&?�8BIM 8BIM8BIM� 8BIM 8BIM' 8BIM�H/fflff/ff���2Z5-8BIM�p��������������������������������������������������������������������������������������������8BIM@@8BIM8BIM=57biao75nullboundsObjcRct1Top longLeftlongBtomlong5Rghtlong7slicesVlLsObjcslicesliceIDlonggroupIDlongoriginenum ESliceOrigin autoGeneratedTypeenum ESliceTypeImg boundsObjcRct1Top longLeftlongBtomlong5Rghtlong7urlTEXTnullTEXTMsgeTEXTaltTagTEXTcellTextIsHTMLboolcellTextTEXT horzAlignenumESliceHorzAligndefault vertAlignenumESliceVertAligndefault bgColorTypeenumESliceBGColorTypeNone topOutsetlong leftOutsetlong bottomOutsetlong rightOutsetlong8BIM8BIM8BIM "75�"�����JFIFHH�� Adobe_CM��Adobed����            ��57"����?   3!1AQa"q�2���B#$R�b34r��C%�S���cs5���&D�TdE£t6�U�e���u��F'���������������Vfv��������7GWgw��������5!1AQaq"2����B#�R��3$b�r��CScs4�%���&5��D�T�dEU6te����u��F���������������Vfv��������'7GWgw������� ?�U�}f�߅�Zq�Nk��ϵ��u�����g뇤`@�3r]�bUK��m�B��V��6 �w����A�vE�t84��kw{]o�'��� Pd� �<8�4��2�Va���3�8���0u_mw ��k�Ş�l 6���4�ߤ�sϔ� �8�~���Z�N,d���^�>g�����lm}T���h'�.�����g�)jPB��Y:o�<7T�dmۑ��t:9��IS�\<�~�uZ�FK��Va�'\�&���G��g�%�,$�Dǃ450����?��WŎ[K����$�������q(����'>ѻ�����������)ȥ�^�eVױ�4�Ϫ��� ���e�fCω��p���k����Clu����)z��M����(5����j���J�VSZ�mm���s��Q�8������WQ�#�/�5B���)�/�j���뭎��Y�13�cC��d5�A`�ή�W������1�85����es?��d���.y/�N~/I��El긘�2���&�F���]��#�Oԋ�2�߶c9έ��]H���=�j����,��y�6X�� ��ue���M��%k��7��{�.}�4�H n�Q�q�1�Œ���X��_�1�A<3���zI�Ӻ��Sn�-teэp{�-����k�bK���y?V��c���w�������IS��~��W�����^� ?�~��~� _��K����v�Ӎ]�{�`�Ʊ����k���R.~exW�� ��c�s[� ��}���u ��s[�vZk�E�{]��J���O�`��gN�y�<� a��5ߙ�=J��{U��b�drD�8�����L��#H��?�r�?Rʻ�Q�89�����/�:61����wV��õ�ec��V� �J}����+��t<���S�-ՕUc�y��\�i�c�\�Ag��o��S��،�j0�x�?G��,u�U`�2߇�/�^{��Y�3�N͢���S~��W�Z��H� du?C�u ���z+]��s��r3�;�h�.�ۥ��+Y��?���~���������y���w� ��s\�V6�Ļv ۴l���#�|���������)\?�>�la�\?�|���?U$�UIWf��8BIM!UAdobe PhotoshopAdobe Photoshop 7.08BIM��Hhttp://ns.adobe.com/xap/1.0/ adobe:docid:photoshop:6c7537f5-4880-11e0-a946-edc276e38a00 ��Adobed���         ��57�����  s!1AQa"q�2���B#�R��3b�$r��%C4S���cs�5D'���6Tdt���&� ��EF��V�U(�������eu��������fv��������7GWgw��������8HXhx��������)9IYiy��������*:JZjz��������m!1AQa"q��2������#BRbr�3$4C��S%�c��s�5�D�T� &6E'dtU7��()��󄔤�����eu��������FVfv��������GWgw��������8HXhx��������9IYiy��������*:JZjz���������� ?�N*���������u nE�����V4�:W�}��'6���3�#������_����T�������۽��͕Ƴ#kQ%�-Jr1 ,iZ����A���C�e���?Y�!@Ǐ������G��t=�ڎ�wy��q{��<��谇,/�K����\�5��%�1���t��m)� $�^�EǙ���se�٘%��� �eK��}=�_ܷ�U���9E����/�������dsf������7��(VVP�C+ � ���)�U���?��wo*�!��������l"Ҷܸ� _�.+���x�=[c��$���k5>6������Ɵ� �ξn��^a�)/�BF�s*����F�?�� Gh�Q1��_�7�.��'�S��6|��/6]&���X�?�.Nf��r��E2IH�y���_g33vV-> rJR�x���ū�yr�}(M3�c�V%� ��P]��lI#�'�Y��C,@�E�[,��zS�" |Ywˏ��_�&���Y����̏-�`iZ�$W�2���) UaFd���7����h�ݝ�I;�����'e��C�,�-K4$`a./�\?͗��)5��$8��}>��G�)N��/�+h|˥��p[���N ���p����22��'�O������#� �;�����e~I^��Q����Ky�yIh��Yв���#�����w��<���3X&(�4닝 ɵH �`�ٙO���e]��� ���9?��g���X��'���?!�-c����gP^k��eH��z�j�r$��wC�s�8��������7���?v΃�Ե�[� ���|�X%�8���\.ϟ�2���%��􏕥��G�Ӡ��Y�bH'�)�I���A 3#R$fdA�z����?J'_�-�]�W�F� ^y:*��-H�`�rL@s��e� �L��b�w�u;��O1y�E�w�kk�[fV����R�� �zx�O 3;qB2�����)�8�ŏ����5�چ�sޥb�Q-�U2��P0'�֙><8��xa?��̀�I�ȃr�ҋ4���έ�_��b�ن���Aݧ%�����z����y�E�#�p���Iˆ_���r�C<��� 4�.��B��43�j:^�-�rV�OFEXe�hx4nܿ��[=D� �H;��G��X�!�'�e����a�Vo$y�Y�W�FuҤ ���ⷐ��nc����-'��wi�`3���?�FR��)4��œ���_�z_�ԑ~y6�K���Ӥ #MH������EU� �z�� 3��dg���}<_�����j��f2G���+~Sy�B�l�48��s=�4+��Y��Ý��o�^-��]HHd��W�~�?��A���I���=J�����֮�H����X c��?�f�������DJ_읬�X�9m�Aʏ������2���e��Z�����,?�����q�Q�YiO�����?{���!��Y8�`=����͌x�؄��_�h׺_����m&��h�=��ʾ����T�I�a�>���fQ�<2�������5��9"c�>�/��50�ʺDU>X�3�֏dQvc�Q���-��Q�L��O����a���>�����ƹ�'�������>�ח�=U�x�~\�����/���k��^�����_�c�$��.L��T��E �7P1[~^;�Γ��?B���n�{�n�]�[���k�p�o,����|��Sc�!�������3;S,_�ニ�����|N.������_�� /K�^ ��������d����?�k��_�_��/�Ss����lq�Ŧ_�cQ�y��f��I��c/_�X�Z~9V�p������_NJً���q���8��鯥ON��q�M�N�ϟ7n`W����N@��N ck�e $1$a$$CJKHPJ_HaJmH nHsH tH$A@���$ ؞���k=�W[SOBi���B nf�h�??%?�?�?�@�@�@�A�A�B�B�B�C�C7DBDEE'E�E�E�FaGbGsG~G�GBH[H\HlH#I�JK�KM�M;NsO�O�ODP�P QRR#RmR�R�T�T�TrU}U~U�UbVcVrVW�W�W�WXXXXXX X(X)X+X6X>X�0�0������������������������0����0��0������������������������������������0������0����������������������������0������������0���������0���0���0���������������������0���������������������������������������������0������������������������0������������0���������������������0���0���0������������������0���������������������������0���������������0������������������������0������������0���0������������������������0���������������������������0���������������0������������������������0������0������0���������0���������0���0���0������������0���0������������������������������0���������������0���0������������0���������0���0���������0�����������h�00ȑ00�h�00ȑ00��@0��ȑ00��@0��ȑ00���00 �ܨ�@0����0 0 �o4��0 0 �ܨ�@0��ȑ00�� -/;=?BV�z�1i��=�U"u������z�24567defghx�3/68B!����8�@�����������0�( � ��B �S ���� ?���)zn�Ďc{n��K_|n��T�}n�\U�~n�|^_n�__�n��__�n�Q_�n��Q_�n�R_�n��R_�n�$S_�n��S_�n�4T_�n��T_�n�DU_�n��U_�n�dV_�n��V_�n��W_�n�,X_�n��X_�n�\Y_�n��Y_�n��Z_�n��Z_�n�D[_�n��[_�n��\_�n��\_�n�D]_�n�$�e�n���e�n���e�n���e�n�<�e�n�Ԓe�n�l�e�n��e�n���e�n�4�ef!!�!�$�(�)[*r*�-y/�0131O1�3�4]5�8�;�<�<�=>)>2>:>�>�>?�?�?<@J@�A�AB(BKDXD�D>X      !"#$%&'(l !!�!�$�(�)^*u*�-|/�0 161S1�3�4a5�8�;�<�<�=>.>4>=>�>�> ?�?�?@@M@�A�AB+BND]D�D>X  !"#$%&'(<)*�urn:schemas-microsoft-com:office:smarttags�chmetcnv�  `�# �0�1�10�100�140�15�2�22�220�30�35�350�40�4000�41�5�500�55�550�65�C!�cm�False�HasSpace�kg�m�mm�Negative �NumberType �SourceValue�TCSC�UnitNamelQ̑)!" )! )! )! )! )! )! )! )! )! )! )! )! )! )! )! )! )!  )!  )! )! )! )!  )! )!  )! )! )! )! )! )! )!  )! )! )! )!  )! )! )! )! )! ���#$159>x�������  bd����!#%KLUVbcfg}~������������AFObjmnpqr������������������ !(QRTUefi�����������������  `ij������������ 67:;EFIJV}�������������������  4 6 ; > E G L N O Q T o q u v � � � � � � � � � � � � � � � � � �   , / 8 ; = > A D G H I L M P T W g j n o � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �     ! $ @ C Y [ \ d g | � � � � � | } � � � � � � � � � � � �    !RSVW����  $OQcd~��^fj{����������� MNab��-����� !$%��^_��������  .29<OQRUeipvy}��������LNor�&,-2378<=?@CI�����v����������������0MY\cegjmo������������������������ %&+FNWZlmnopqruz|����������������� !"V^lorstu� !-017HKUWXY[^_sz|����     < E I J N O S W a p u y � � � � � � � � � !!!!$!%!j!�!�!�!�!�!�!�!�!�!�!�!�!�!�!�!�!�!""""""$"("?"O"\"`"l"n"�"�"�"�"�"�"# ###7#:#>#K#P#W#Y##�#�#�#�#�#�#�#�#�#�#�#�#�#�#�#�#�#�#�# $$$!$($-$@$C$�$�$�$�$�$�$�$�$�$ %@%E%M%Q%k%o%t%y%%�%�%�%�%�%�%�%�%�%�%�%�%�%�%&@&F&L&M&N&T&l&p&z&|&�&�&�&�&�&�&�&�&�&�&�&�&�&�&�&�&�&�&�&�&�&�&�&�& ''''J'N'a'e'n'p'q'r't'�'�'�'�'�'�'�'�'(( (<(A(W(Z([(\(^(`(a(b(d(j(t(�(�(�(�(�(�(�(�(�(�(�(�(�(�(�(�(�(�(�())))) )))))))))!)$)))N)T)W)X)Y)^)f)i)k)l)n)v)y)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�)�) ****** *"*#*$*W*^*e*g*h*i*n*v*�*�*�*�*�*�*�*�*++,l,�,�,-H-M-l-�-�-�-�-..k.|.~.�.�.�.�.�.�.�.�.�.�.�./// ///!/$/)/*/.//Y/]/^/a/d/f/g/i/j/l/y/}/�/�/�/�/�/�/�/�/�/�/�/�/�/�/�/�/�/�/�/�/�/�/00000203090=0C0E0O0f0g0o0�0�0�0�0�0�0�01113171=1?1@1A1J1S1^1`1a1c1j1l1n1q1r1�1�1�1�1�1�1�1�1�1�1�122"2$2&2*292;2@2B2N2P2T2W2h2j2z3�3�3�3�3�3�3�3�3�3�3�3�3�3�3�3�3�3�3�3�3�3�3�3�3 4 4 44444#4+4/4043484;4N4T4h4l4�4�4�4�4�4�4�4�4�4�4�4�4�4�4�4�4�455!5#50565<5B5X5a5m5q5�5�5�566666,6.6/616:6<6=6?6B6D6�6�6�6�6�6�677 7 7R7U7V7W7X7_7�7�7�7�7�7�7�7�788 8 8,8.8Z8_8c8�8�8�8�8�8�8�8�8�8�8�8�8�8�8�8�8�89 9 999969?9H9J9Q9S9c9e9r9t9v9�9�9�9�9�9:$:/:1:N:Q:R:S:T:[:�:�;�;�;<<^<�<�<�<�<�<�<�<�<�<�<�<�<�<h=�=>>#>.>/>0>1>4>:>=>>>A>z>�>�>�>? ??�?�?�?�?�?�?�?9@:@;@@@G@H@I@M@d@f@�@�@�@�@�@�@�@�@�@�@�@A7A9A�A�A�A�A�A�ABB BBBB"B+BUBWBYB[BdBgBtBwB�BCMCOC�C�C�C�C�C�CDD D DDDDDD'D6D:DADODQDRDXD^DpDsD�D�D�D�D�D�DE E!E'E6E}E�E�E�E�E�E�E�E�E�E5F9FNFQFlFnF�F�F�F�F�F�FGGGG`GtGuG�G�G�G�G�G�G�G�G�G�G�GHHH H"H%H,H.H/H1HAHEHHHQHSHTHVHZH]H^H_HkH�H�H�H�H�H�H�H�H�H�H�H�H�H�H�H�H�H�H�H�H�H�H�H�HIII I II!I"IgIlImI�I�I�I�I�I�I�I�I�I�I�I�I�I�I�I�I�IJ JJJJJ JNJPJYJZJ]J_JmJnJqJsJ�J�J�J�J�J�J�J�J�J�J�J�J�J�J�J�J�J�J�J�J�J�J�J�J�J�J�J�J�J�J�J�J�J�J�J�J>K@KAKDKFKLKPKVKWK`KbKiKmKpKtKwKK�K�K�K�K�K�K�K�K�K�K�K�K�K�K-L1L2L3LELGLJLNLTLVLjLnLpLtL�L�L�L�L�L�L�L�L�L�L�L�L�L�L�L�L�L�L�L�L�L�L�L�LMhMiMkM�M�M�M�M�M�M�M�MNNN:NGNVNZN[N_NxN{N�N�N�N�N�N�N�N�N�N�N�N�N�N�N�N�N�N�NO O O OOO%O(OeOiOrO�O�O�O�O�O�O�O�O�O�O�OCPXPZP\P^P_P`PcPePfPkPmPoPqPsPtPuPxPzP{P�P�P�P�P�P�P�P�P�P�PQ Q Q�Q�Q�Q�Q�Q RR"RjRlRnRoRqR�R�R�R�R�S�S�S�S�S�S�T�T�T�T�T�T�T�T�T�T$U&U(U*U/U1U3U5U@UBUDUFUKUMUOUQUqUrU|UU�U�U�U�U�U�U�U�U�U�U�U�U�U�UV V VVV$V&V*V:VVaVdVeV�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�V�VOWgWhWiWkWnWpWqW�W�W�W�W�W�W�W�W�W�W�W�W�W�W�W�W�W�W�W�W�WXXXXX'X)X+X5X;X>X Q���3Kfjvx�� D��� � E � K�����_����2p��no��i���0��FH���)?W��C y � � !Y!z!"J" # #7#\#�#$@$&%D%�%�%�%@&N&�&'E'((e(�(�( ) ))+)�)�*�*++8+�+�+,,A,l,|,-F-m-�-�--./y/�/�/�/0F0�0�0�0C1n1{1�1�2(3]3z3�3�4�5�5�5E6�6�67R7_7�7�7 838c8d8�8�8�89v9w9�9[::�:K;T;Y;k;p;�;�;�;�;�;�;�;�;< <�<�<�<�<�<�<�<�<�<�<�<�<�<�<==!=&=E=J=P=S=Y=\=|==�=�=�=�=�=�=�=�=S>V>�>�> ? ?*?,?�?�?5@9@�@�@�@�@�@�@pAtA�A�A�A�A�A�A�A�AB BYB[B�B�B�B�B�B�B�B�B�B�B�B�B�B�B�B�B�B C C`CfC�C�C:D=DBDED�D�D�D�D"E&E>EBElEpE�E�E�E�E�E�E�E�E�E�EFFWF[F`FcF�F�F�F�FUG[G�G�G�G�G�G�G�GH.H1HSHVHoHrH�H�H�H�HnIqI�I�I�I�I�I�IAKDK�K�KL LhMkM�M�MZN[N�N�N�N�N O OHOMOO�O�O�O�O�O�P�P QQ(Q+QEQHQ�Q�Q�Q�QRRrRuRyR|R�R�RSSYSsSvS�S�S�S�SYT\TdTeT�T�T�T�T�T�T�T�T(U*U3U5UDUFUOUQU�U�U�W�W�W�W�W�W�W�W�W�WXXXXX'X;X>X33333333333s3333s33333sss33s3ss3s3333333sss3ss3sssss3333333333s3333333333ss3ss3333sss333s3s3ss33ss3333ss3333333s3s3sssssssss  ei  �&�&M(e(�*�*�./:0F0p1{1T7_7�8�8P:[:�:�:�?�?D7DsG~G�K�K�LM�P Q�W�W�W�W�W�W�WXXXXX'X)X+X5X;X>X�W�W�W�W�W�WXXXXXX;X>X��G56�@I�ARg^hv[|'6��q�#k��a��Z��q��o��@( -=X@@H@p��Unknown������������G��z ��Times New Roman5��Symbol3&� �z ��Arial;��ўSOSimHei;���[SOSimSun?5� �z ��Courier New 1��h%"ֆBt�f ! �J,�! �J,�!-!),.:;?]}����    & 6"0000 0 0 00000��� � �����=�@�\�]�^���([{�  0 0 00000��;�[������������W�W2�QHP��?����������������������o�2�� *Y3���IQO�b/g��zjp�_o�(u7b�������Oh��+'��0x��������  4 @ LX`hp�̫���ܹ���������zjpNormal ΢���û�5Microsoft Office Word@d�@�}����@�b��r�! �J����՜.��+,��0� X`lt|� ������,�W'   !"#$%&'()*+,-./0123456789:;<=>?@ABCDEFGHIJKLMNOPQRSTUVWXYZ[\]^_`abcdefghij����lmnopqrstuvwxyz{|}~���������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������Root Entry�������� �F�� �r���Data ������������k�51Table�����|mWordDocument����8�SummaryInformation(�������������DocumentSummaryInformation8���������CompObj������������m������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������ ���� �FMicrosoft Office Word �ĵ� MSWordDocWord.Document.8�9�q